A beszerzés leírása
Ajánlatkérő rögzíti és felhívja a figyelmet, hogy a szerződés/szállítás időtartamát a szerződéstervezetben, illetve műszaki specifikációban foglaltaknak megfelelően jelen részajánlati kör esetében heti időtartamban kívánja megjelölni. Az EKR felületén azonban heti jelölés nem alkalmazható, és e mező kitöltése kötelező, melyre való tekintettel Ajánlatkérőnek az értékelési szempontban jelölt, maximális 20 hétnek megfelelő időtartamot, vagyis 100 munkanapot kell megjelölnie (5 munkanapot tartalmazó héttel számolva).
1.1.1 MPC kamra
Anyaga: rozsdamentes acél
Belső és külső felület: üveggyöngyfúvott
A kamratetők gázrugós rásegítéssel kézzel vagy elektromos szervóval nyithatóak.
Kamra és flanzsni anyaga: SS 304/304L
Gyártási tolerancia: DIN EN ISO 13920-B hegesztési tolerancia szerint
He-szivárgás ell. ≤10-9 mbar l/s
ITEM-profilokból álló, lábakkal ellátott kamraállvánnyal
Rezgésszigetelt optikai lap 3 db (810 x 600 mm). Lásd még 1.1.4.
Állvány (porfestett acél, hegesztett) az optikai laphoz
Nagyvákuum szintre (HV) tisztított felületek, kritérium alább.
Vakkarimákkal szállítva tesztelésre kész állapotban.
További adat: 3D rajz
Mennyiség: 1 db
1.1.2 Nyalábkicsatoló kamrák
Anyaga: rozsdamentes acél
Belső és külső felület: üveggyöngyfúvott
Kamra és flanzsni anyaga: SS 304/304L
Gyártási tolerancia: DIN EN ISO 13920-B hegesztési tolerancia szerint
He-szivárgás ell. ≤10-9 mbar l/s
ITEM-profilokból álló, lábakkal ellátott kamraállvánnyal
Rezgésszigetelt optikai lap. Lásd még 1.1.4.
HV-ra tisztított felületek, kritérium alább.
Vakkarimákkal szállítva tesztelésre kész állapotban.
További adat: 3D rajz
Mennyiség: 2 db
1.1.3 Vákuumpumpák, szelepek és mérőeszközök
— 1 x turbópumpa, legalább 2000 l/s (vagy több), perem DN 250 ISO-F (vízhűtés, mágneses lebegtetés, védőháló, RS 485 kommunikáció)
— 2 x turbópumpa, legalább 250 l/s (vagy több), perem DN 100 ISO-K (léghűtés, mágneses lebegtetés, védőháló, RS 485 kommunikáció)
— 3 x vákuumszelep, ISO-F 160 AR-bevonatos ablakkal: tiszta nyílás: 10 cm, Ar bevonat: R<0.5 %, 650nm-1050nm, lambda/10), elektropneumatikus és állapot- visszajelző kontaktussal szerelt
— 2 db elektropneumatikus sarokszelep (DN 40 ISO K, állapot-visszajelző kontaktussal szerelt)
— Vákuummérő és vákuumvezérlő
— 2 x mérőfej, teljes mérési tartomány: 1 x 10-9 - 1000 mbar
— 1 x mérőfej vezérlő, legalább 4 mérőfej csatlakozás, RS 485 kommunikáció
— Vákuumcsövek (Kicsatoló kamrákat összekötő és az MPC kamrához csatlakozó csövek)
— Az összekötő csövek vízformázott harmonikákat tartalmaznak, amelyek ki vannak merevítve
A megfelelő elővákuumot (0.1mbar) a megrendelő biztosítja.
1.1.4 Optikai lap (breadboard)
— Optikai breadboardok (az 1.1.1 és 1.1.2 kamrákhoz)
— Aluminium
— Breadboard lyukak mintázata 25 x 25 mm, M6 menetekkel, teljesen átfúrva, végig menetes
— Tartalmazza a rezgésizolált keretet az optikai lapokhoz (külön, független szereléssel a padlóhoz átvezetőkkel), porfestett acélból,
— Breadboard-ok teherbírása: az 1.1.1. kamrában: >200 kg, az 1.1.2 kamrákban: 30 kg
— Az optikai lap (breadboard) felületi egyenletessége: <0.2mm bármely 0.1m2 felületre vonatkoztatva
— Lezárás: finommart
— HV-ra tisztított felületek
— További adat: műszaki rajz